窒化アルミ顆粒は窒化アルミ粉末からスプレー造粒され、粘著剤及び焼結助剤を含み、直接プレス成形できる。廈門科技鉅瓷の窒化アルミ顆粒は良好な流動性、優れた焼結性、および高純度、高強度の特徴を持って、窒化アルミヒータ/靜電吸盤/エッチング保護カバー/ホットプレス窒化アルミセラミックスなどの各種半導體デバイス部品を作製するために用いられる。
製品の特徴
高純度
High Purity
直接プレス成形可能
Ready for press
高強度
High strength
優れた焼結性
High sintering activity
高い流動性
High fluidity
技術參數
項目Item | GS-80 | |
平均粒徑 Mean particle size (μm) | 70~120 | |
Y2O3 (WT%) | 5 | |
松裝密度 Bulk density (g/cm3) | 0.8~1.0 | |
流動性 Fluidity (s/50g) | 80~100 | |
雜質含量 | Ca (ppm) | ＜500 |
Si (ppm) | <100 | |
Fe (ppm) | <30 | |
成形工藝
脫脂工藝
200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保溫2小時。
燒結溫度1830~1900℃，保溫時間3~5 hrs,流動氮氣，0.1MPa
產品應用
壓制陶瓷原料：加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷
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